Appel à communications des Rencontres Scientifiques d' ARCSIS : date limite lundi 16 juin 2008

Les Rencontres Scientifiques et Techniques d'ARCSIS rassemblent depuis onze ans des entreprises et laboratoires français et étrangers sur des sujets pointus répondant aux besoins du marché de la microélectronique. Ces 11èmes Rencontres seront dédiées au thème : "Contrôle du procédé de fabrication des wafers : méthodes, applications et nouveaux défis" et se dérouleront les 20 et 21 novembre 2008 à STUniversity à Fuveau (France). L'anglais sera utilisé pour tous les documents et conférences.

Les présentations porteront sur :

1) la méthodologie et les méthodes : Measurement - sampling, Uniformity monitoring, R to R - Fault Detection and Classification (FDC), SPC - AEC - APC

2) les applications : Materials monitoring : raw silicon, oxide, metal, other layers, CD, overlay, resistivity, thickness ..., Electrical test in line and probe / Wafer Sort, Oxide integrity, charging, Defectivity, silicon defects, New materials characterisations, Wafer edge control, cleaning, Fluids monitoring : air, water, gases, chemicals

3) les nouveaux défis : Process control adapted to zero ppm reject level driven by automotive market et autres...

Les auteurs, qu'ils soient équipementiers, fournisseurs ou utilisateurs sont fortement encouragés à mettre en avant dans leur présentation des cas d'études réels. Les présentations sur lesquelles auront collaboré fournisseurs et utilisateurs, seront appréciées. La date limite de soumission des résumés est le lundi 16 juin 2008.

ARCSIS, Association pour la Recherche sur les Composants et les Systèmes Intégrés Sécurisés, composante microélectronique et objets communicants sécurisés du Pôle SCS, est chargée de renforcer et valoriser la filière en région Provence-Alpes-Côte d'Azur. A travers ces événements, ARCSIS souhaite favoriser de nouvelles collaborations entre les divers acteurs de la filière microélectronique et objets communicants.

Vous trouverez l'appel à communications détaillé de cette manifestation sur le site d'ARCSIS : http://www.arcsis.org/